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          NRL60A/90A/180A干式真空泵

          NRL60A/90A/180A干式真空泵

          簡要描述:● NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。
          ● 低噪音、低振動
          ● 優良的耐腐蝕性

          產品型號: NRL60A/90A/180A

          所屬分類:真空泵

          更新時間:2025-12-12

          廠商性質:生產廠家

          詳情介紹

           

          特長
          ● NRL系列在低溫領域下的均熱化。除PVD工藝外,尤其適用于希望提高流量,縮短排氣時間的重要工藝腔體的排氣。
          ● 低噪音、低振動
          ● 優良的耐腐蝕性
          標準零部件采用高硬度并經過優異的防腐蝕特殊表面處理,降低對腐蝕性氣體排氣時泵體內部的腐蝕程度。
          ● 選購件
          可選購消音器、冷卻水流量開關、氮氣流量開關、泵溫傳感器。
           
          用途
          ◆ 活性氣體(CVD、刻蝕等)
          ◆ 排出非活性氣體(濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等)
          ◆ 用于產生粉塵工藝中的排氣(Si單晶爐等)
          ◆ 作為前級泵使用(渦輪式分子泵、機械羅茨泵的前級泵)
          ◆ 冷凍干燥等水蒸氣排氣


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