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          日本ULVAC CFB-1200F風冷復合分子泵技術參數

          發布時間: 2015-12-29  點擊次數: 1627次

          一、產品簡介

                  CFB-F系列風冷復合分子泵的性能與復合分子泵一樣,適用于沒有水源且環境溫度不高的地方,或經常移動的排氣機組等。

           

          二、產品特點

                  復合分子泵對被抽氣體無選擇性、無記憶效應;由于對分子量大的氣體有很高的壓縮比,因此該泵不需要冷阱和捕油擋板即可獲得清潔的高真空和超高真空。

           

          三、主要性能指標

           

          型號

          CFB-1200F

          訂貨號

          3165

          3166

          進氣口法蘭

          LF200

          CF200

          排氣口法蘭

          KF40

          抽氣速率

          L/s

          1200

          壓縮比N2/H2

          1×109/1×104

          極限壓強

          Pa

          5×10-7

          8×10-8   

          電機轉速

          rpm

          24000

          啟動時間

          min

          <5

          振動值

          μm

          ≤0.1

          前極泵

          L/s

          8-15

          冷卻方式

          (環境溫度<37℃)

          泵體烘烤溫度

          <120

          加熱器功率

          W

          <600

          加熱器輸入電壓

          V

          AC220

          安裝方向

          垂直±5°

          重量

          kg

          ~35

           


          四、特性曲線及安裝尺寸

           

          CFB系列風冷復合分子泵安裝尺寸表

           

          型號規格

          CFB-1200F

          高真空法蘭

          LF200

          CF200

          D1

          Ф240

          Ф253

          D2

          Ф267

          Ф267

          D3

          □167.6

          □167.6

          L1

          142

          142

          L2

          152

          152

          H1

          467

          467

          H2

          70

          70

          H3

          178.5

          178.5

          H4

          151

          151

          泵腿螺釘孔

          4-M8

          4-M8




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