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          日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵技術參數(shù)

          發(fā)布時間: 2015-12-29  點擊次數(shù): 1668次

          日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 一、特性

           

          • 雙繞式渦旋泵,含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。

          • 可在大氣壓下實現(xiàn)操作運行。

          • 可實現(xiàn)高極限真空。

          • 低振動低噪音。

          • 維護周期可通過計時表控制。

           

          日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 二、應用

           

          • 分析設備

          • 氣體回收系統(tǒng)

          • 涂料設備• TMP 前級泵

          • 氦滲漏探測器

          • 半導體制造工藝

           

          日本ULVAC DIS-90渦旋干式真空泵 三、規(guī)格參數(shù)

           

           

          單位

          50Hz

          60Hz

          實際抽速

          L/min

          90

          108

          極限壓力

          Pa

          5.0

          馬達

           

          單相, 100/115/200/230V, 
          150W, 4P, 電容啟動運行

          滿載電流

          A

          2.6/1.3/1.6
          (100/200/230V)

          2.1/2.2/1.1/1.1 
          (100/115/200/230V)

          重量

          kg

          14.0

          進出氣管道直徑

           

          進氣管 KF-25 出氣管 KF-16

          環(huán)境溫度

          °C

          5 – 40

          水蒸氣處理

          g/天

          ≤5 (A.F. 開啟)

          尺寸

          mm

          214(W) × 308(L) × 225(H)

           

          四、外形圖

           

           

          五、泵數(shù)曲線

           

          六、對應電壓與認證

           

          電壓

          現(xiàn)行電壓

          CE 認證

          CSA 認證

          單相, 
          100V / 115V (60Hz)/ 200-230V

          標準

           

           

          聯(lián)


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