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          日本ULVAC NB100A/NB300A羅茨泵技術參數

          發布時間: 2015-12-29  點擊次數: 1592次

          羅茨泵與油旋片真空泵、水環泵組合用,可在壓力1.3×103~1.3×10-1Pa范圍內提高抽氣速率。NB系列羅茨泵是專為潔凈度要求較高的場合而設計的。 

          特長 
          結凈的真空 
          腔體內沒有潤滑油,對水蒸氣、溶劑等氣體也有穩定的排氣性能。 
          能在高吸入壓強下運轉 
          選用比標準電機容量大一級的電機,即可實現在高吸入壓強下的運轉。 

          用途 
          照明、電子、光學、半導體鍍膜、濺射、離子鍍、液晶注入真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣真空熱處理爐、燒結爐、釬焊爐分析儀器、檢漏設備,CO2激光設備

           

                  機 型

          NB100A

          NB300A

          NB600A

          NB1200A

          項 目

          抽氣速率*3

             m3/h(L/min)

          50Hz

          95(1580)

          280(4670)

          500(8330)

          1000(16667)

          60Hz

          115(1920)

          330(5500)

          600(10000)

          1200(20000)

          zui大吸入壓力      Pa

          (連續運轉時)      

          50Hz

          1.3×103

          1.2×103

          1.3×103

          60Hz

          1.3×103

          9.3×102

          1.1×103

          zui大允許壓力差    Pa

          (排出壓力-吸入壓力)   

          50Hz

          8.0×103

          4.0×103

          7.3×103

          60Hz

          6.7×103

          3.3×103

          6.0×103

          極限壓力          Pa*1

          4.0×10‐1

          6.7×10‐1

          標準粗抽泵

          GLD-N280

          VDN301

          VDN401

          VSN1501

          VSN2401

          VSN1501

          VSN2401

          電    機          kW (極) *2 *4

          0.4(2)

          0.75(2)

          2.2(2)

          3.7(2)

          V-Hz

          380/400/415V-50Hz、380/400/440V-60Hz

          使 用 油

          ULVOIL® R-4

          所需油量          L

          0.35

          0.70

          1.50

          1.90

          冷卻水量          L/min*6

          空 冷

          2 *5

          2

          3

          進水壓力          MPa

           

          0.3

           

          進出水壓差        MPa

          0.05

          0.1

          重    量          kg

          24

          49

          77.5

          110

          吸氣口徑 (JIS B 2290)

          相當 VG50

          相當 VG80

          相當VG80

          相當VG100

          排氣口徑 (JIS B 2290)

          相當VF50

          相當VF80

          相當VF80

          相當VF80

                 

           

          *1  用皮拉尼真空計測量的值,如用麥氏真空計測量,則為4.0×10-2Pa(3.0×10-4Torr),而NB1200A則為6.7×10-2Pa(5.0×10-4Torr)。

          *2  電源為AC380V、50Hz、三相。

          *3  隨粗抽泵的性能而變化,表中為標準泵的組合的數據。

          *4  NB300A、NB600A、NB1200A可分別選購1.5kW、3.7kW、5.5kW的大容量電機。

          *5  對于530Pa(4Torr)以下可用空冷,但530Pa(4Torr)以上進行連續運轉必須用水冷。

          *6  冷卻水溫為5~30℃。




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